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FD-4000

フラットディスク用アウトガス捕集装置

-特長-
allow_b.jpg 直径100mmまでのフラットなサンプルの表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集
(長方形のサンプルの場合は最大70mm角)
allow_b.jpg シリコンウエハの揮発性有機汚染捕集で定評のある捕集方式を採用
allow_b.jpg 操作は簡単、確実に微量揮発成分を捕集
allow_b.jpg オーブン加熱温度は最高400℃
allow_b.jpg チャンバー冷却用の水冷流路内蔵、冷却水循環装置(オプション)を使用し、迅速な冷却が可能
allow_b.jpg 弊社製の大容量捕集管での捕集(他社製の試料管対応も可能)

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allow_b.jpgサンプルをセットする試料加熱部

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-仕様-

  想定するサンプル形状   例)HDDディスク(0.8~3.5インチが可能)
  試料オーブン数   1個
  試料室材質   ステンレス製(SUS316L)
  フード   不活性天板
  オーブン加熱温度   室温~400°C
  オーブン加熱方式   抵抗加熱方式
  シール方法   特殊リング(テフロン)
  安全装置   緊急停止スイッチ搭載
  各ヒーター過昇防止機能搭載
  漏電ブレーカー搭載 
  パージガスの種類   Heもしくは窒素
  パージガスの元圧   0.5MPa(5Kgf/cm2)以上
  パージガス流量   500ml/min MAX
  加熱設定時間   最長99時間59分(1分単位で設置可能)
  装置重量   試料加熱部約35kg/コントローラ部約10kg
  電源   100V/20A
  水冷機能   標準装備(冷却水循環装置はオプション)