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HM-04II

パーツ用アウトガス捕集装置(4検体)

-概要-
電子部品等からの揮発成分を効率よく捕集します。
発生するアウトガスを一次トラップ管(PAT)に捕集する装置です。オーブンは、最大200℃まで加熱することができます。

-特長-
4つのチャンバーを装備し、同時に4検体の試料を加熱捕集することが可能です。それぞれ独立したフローコントローラからパージガスを供給し独立捕集するので、信頼性のある分析が可能となります。
パージされた揮発成分は、あらかじめHM-04Ⅱに取り付けたテナックスを充填した一次トラップ管(PAT)で捕集します。また、タイマーを装備し最大99時間59分のパージ時間が設定できます。

-仕様-
試料容器数:4個
試料容器材質:ステンレス製(内面:金メッキ処理)
試料容器サイズ:φ60×56mm(160ml)
オーブン材質:アルミニューム製
オーブン加熱方式:抵抗加熱
オーブン加熱温度:室温~200℃
パージガスの種類:通常ヘリウム又は窒素
パージガス流量:20~200ml/min
試料加熱部寸法:285(W)×310(H)×225(D)mm
試料加熱部重量:21.5Kg
コントローラー寸法:320(W)×320(H)×215(D)mm
コントローラ重量:11Kg
電源:100V/10A

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試料加熱部
(ワンタッチ開閉式)

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コントローラー部  試料加熱部

HM-04II の分析例(ウェハケース包装材からの発生ガス分析例)

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捕集条件 試料:100mg、加熱温度:40℃・1時間、パージガス量:50ml/min(窒素)、一次トラップ管(TENAX GR)

ウェハケース包装材100mgを上記の条件にてHM-04II にて捕集し、JTD-505II でP&T-GC/MS分析をおこなったものです。全アウトガスがC14換算で3.1μgと大量に検出されました。
このようにHM-04II を使用することにより常温下での長時間捕集が容易となり、ウエハケース内に保管した状態での発生ガス分析が可能となります。