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PM-0604

フォトマスク用アウトガス捕集装置

-概要-
本装置は、6インチフォトマスク表面の揮発性有機化合物の捕集を目的とし、最大4検体からの成分を同時に加熱捕集できます。

-構成-
1.試料加熱部
2.温度コントローラー部
3.流量コントローラー部
4.冷却水循環装置

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-仕様-

  電源   AC200V 10A(ヒーター用)
  AC100V 15A(冷却水循環装置用) 
  オーブン数   数量 2
  2チャンバー/オーブン
  抵抗加熱方式
  オーブン毎に室温~200°C(捕集温度)

  チャンバー

  数量 4
  内容積 648ml (180H×180D×20W)
  内面金メッキ5μ 
  捕集管   PAT テナックスGR入り
  各チャンバー上部に設置 
  パージガス   流量 500ml/分/チャンバー(最大)
  チャンバー毎に独立の電子制御
  種類 通常ヘリウムまたは窒素 
  圧縮空気   0.3Mpa(水飛ばし用)
  過昇防止   オーバーヒート時にアラーム、ヒーター電源OFF
  冷却水循環装置   オーブン冷却用