アプリケーション | JAIセミナー要旨 (アウトガス関連)

JAIセミナー要旨 (アウトガス捕集装置関連)

高分子，クリールーム構造材，およびFPDより発生するアウトガス分析（791KB）
P&T法による防錆塗膜発生ガス分析（118KB）
材料・製品からの放射物質測定法（159KB）
微量ガス分析法過熱発生ガス・燃焼ガスおよび大気中の微量有機物の分析（952KB）
クリーンルームの空気室管理について（130KB）
半導体プロセスにおける化学汚染分析（417KB）
クリーンルーム内における有機汚染物質ならびにクリーンルーム構成材料からの脱ガス成分について（397KB）
電子デバイスから発生するアウトガス分析（405KB）
クリーンルーム中の極微量有機物分析及び電子デバイスから発生する揮発性成分分析（955KB）
活性炭布吸着／熱分解GC/MSによるHDDアウトガスの半定量測定（70KB）
ガスクロマトグラフィーによる電子部品の機能性評価（501KB）
電子産業用有機材料の分析技術動向（318KB）
クリーンルーム用ポータブル発ガス捕集装置　OCM-6型（565KB）

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