SW-8400ⅢDF / SW-12400ⅢDF
シリコンウエハ用アウトガス捕集装置
SW-8400ⅢDF / SW12400ⅢDF
シリコンウエハ用アウトガス捕集装置
韓国半導体市場を独占するシリコンウエハのアウトガス捕集装置
特長
シリコンウエハの8インチ及び6インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます。(SW-8400IIIDF)
シリコンウエハの12インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます。(SW-12400IIIDF)
捕集管トラップ方式採用のため、デッドボリュームがなく、微量成分検出が可能です。
確実に表面からのみの発生ガスを捕集し、裏面からの発生ガスは真空ポンプにより全量放出します。
ウエハをダイレクトに加熱、最高温度は500℃を実現しました。(焼き出し時)
シーケンスコントロール(タッチパネル)を採用。操作が容易になりました。
アウトガスはPAT(内容積10mL、テナックスGR吸着剤入り)による捕集が標準です。オプションで各メーカの捕集管にも対応します。
過昇温防止装置、ドアインターロック機構、緊急停止スイッチ、漏水センサー(オプション)などの安全対策がなされております。
オプションで多段昇温捕集、スプリット捕集、試料管電子冷却(捕集時)が可能です。
韓国半導体市場を独占するシリコンウエハのアウトガス捕集装置
特長
シリコンウエハの8インチ及び6インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます。(SW-8400IIIDF)
シリコンウエハの12インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます。
(SW-12400IIIDF)
捕集管トラップ方式採用のため、デッドボリュームがなく、微量成分検出が可能です。
確実に表面からのみの発生ガスを捕集し、裏面からの発生ガスは真空ポンプにより全量放出します。
ウエハをダイレクトに加熱、最高温度は500℃を実現しました。(焼き出し時)
シーケンスコントロール(タッチパネル)を採用。操作が容易になりました。
アウトガスはPAT(内容積10mL、テナックスGR吸着剤入り)による捕集が標準です。オプションで各メーカの捕集管にも対応します。
過昇温防止装置、ドアインターロック機構、緊急停止スイッチ、漏水センサー(オプション)などの安全対策がなされております。
オプションで多段昇温捕集、スプリット捕集、試料管電子冷却(捕集時)が可能です。
シリコンウエハ(SW)の表面を天板で覆い、表面からのアウトガスだけを捕集する方法です。
パージガスは、プレヒートラインを経由した後、オーブンの天上に釣鐘状に固定された天板(釣鐘形天板)の外壁に沿って流れ、SW表面を外周から中心に向かって導かれます。
SWの裏面は真空ポンプにより吸引することで、SWの裏面で発生したガスを確実に排出することができます。
-オーブン-
シリコンウエハ(SW)の表面を天板で覆い、表面からのアウトガスだけを捕集する方法です。
パージガスは、プレヒートラインを経由した後、オーブンの天上に釣鐘状に固定された天板(釣鐘形天板)の外壁に沿って流れ、SW表面を外周から中心に向かって導かれます。
SWの裏面は真空ポンプにより吸引することで、SWの裏面で発生したガスを確実に排出することができます。
装置仕様
装置仕様
SW-8400ⅢDF | |
方式 | 釣鐘方式 |
捕集可能なウエハサイズ | 8"及び6"、5"以下は治具が必要(12400Ⅲは12") |
オーブン材質 | ステンレス製(SUS316L) |
オーブン加熱方式 | 天板・底板独立加熱方式 |
オーブン使用温度 | 常用400°C(最高焼き出し温度500°C) |
オーブン冷却 | 冷却水循環装置 |
保温パイプ | 内面不活性処理 |
パージガス | 通常は窒素、最大使用流量500mL/min |
PAT冷却(オプション) | 電子冷却 |
緊急停止スイッチ | 赤色、きのこ型 |
安全装置 | ドアインターロック機構 |
オーブン開閉 | モーター駆動 |
本体寸法 | 1140(W)×1106(H)×750(D)mm |
電源 | 単相AC200V、20A ・ AC200V、30A |
質量 | 280Kg |
SW-8400ⅢDF | |
方式 | 釣鐘方式 |
捕集可能なウエハサイズ | 8"及び6"、5"以下は治具が必要 (12400Ⅲは12") |
オーブン材質 | ステンレス製 (SUS316L) |
オーブン加熱方式 | 天板・底板独立加熱方式 |
オーブン使用温度 | 常用400°C (最高焼き出し温度500°C) |
オーブン冷却 | 冷却水循環装置 |
保温パイプ | 内面不活性処理 |
パージガス | 通常は窒素、最大使用流量500mL/min |
PAT冷却 | 電子冷却 |
緊急停止スイッチ | 赤色、きのこ型 |
安全装置 | ドアインターロック機構 |
オーブン開閉 | モーター駆動 |
本体寸法 | 1140(W)×1106(H)×750(D)mm |
電源 | 単相AC200V、20A ・ AC200V、30A |
質量 | 280Kg |
アウトガス捕集装置