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SW-8400III/SW-12400III

シリコンウエハ用アウトガス捕集装置

韓国半導体市場を独占するシリコンウエハのアウトガス捕集装置

-特長-
allow_b.jpg シリコンウエハの8インチ及び6インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます(SW-8400III)
allow_b.jpg シリコンウエハの12インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます(sw-12400III)
allow_b.jpg 捕集管トラップ方式採用のため、デッドボリュームがなく、微量成分検出が可能です
allow_b.jpg オール石英チャンバー方式と異なり、確実に表面からのみの発生ガスを捕集し、裏面からの発生ガスは真空ポンプにより全量放出します。
allow_b.jpg ウエハをダイレクトに加熱、最高温度は500℃を実現しました(焼き出し時)
allow_b.jpg シーケンスコントロール(タッチパネル)を採用。操作が容易になりました

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allow_b.jpg アウトガスはPAT(内容積10ml、テナックスGR吸着剤入り)による捕集が標準です。オプションで各メーカの捕集管にも対応します
allow_b.jpg 冷却水循環装置は標準装備となりましたので、クリーンルーム内設置が容易になりました
allow_b.jpg 過昇温防止装置、ドアインターロック機構、緊急停止スイッチ、漏水センサー(オプション)などの安全対策がなされております
allow_b.jpg オプションで多段昇温捕集、スプリット捕集、試料管電子冷却(捕集時)が可能です

-石英オーブン-

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シリコンウエハ(SW)の表面を全面石英板で覆い、表面からのアウトガスだけを捕集する方法です。
パージガスは、プレヒートラインを経由した後、オーブンの天上に釣鐘状に固定された石英天板(釣鐘形石英天板)の外壁に沿って流れ、SW表面を外周から中心に向かって導かれます。
SWの裏面は真空ポンプにより吸引することで、SWの裏面で発生したガスを確実に排出することができます。

-仕様-

  方式   釣鐘方式
  捕集可能なウエハサイズ   8"及び6"、5"以下は治具が必要(12400IIは12")
  石英オーブン   透明石英製
  オーブン加熱方式   天板・底板独立加熱方式
  オーブン使用温度   常用400°C(最高焼き出し温度500°C)
  オーブン冷却   冷却水循環装置
  保温パイプ   内面不活性処理
  パージガス   通常は窒素、最大使用流量500ml/min
  PAT冷却   電子冷却(オプション)
  緊急停止スイッチ付   赤色、きのこ型
  安全装置   ドアインターロック機構
  オーブン開閉   モーター駆動
  本体寸法   1140(W)×1106(H)×750(D)mm
  電源   単相AC200V、20A ・ AC200V、30A
  質量   280kg