SW-8400ⅢDF / SW-12400ⅢDF 
シリコンウエハ用アウトガス捕集装置

SW-8400ⅢDF / SW12400ⅢDF
シリコンウエハ用アウトガス捕集装置

韓国半導体市場を独占するシリコンウエハのアウトガス捕集装置

特長
シリコンウエハの8インチ及び6インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます。(SW-8400IIIDF)
 
シリコンウエハの12インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます。(SW-12400IIIDF)
 
捕集管トラップ方式採用のため、デッドボリュームがなく、微量成分検出が可能です。
 
確実に表面からのみの発生ガスを捕集し、裏面からの発生ガスは真空ポンプにより全量放出します。
 
ウエハをダイレクトに加熱、最高温度は500℃を実現しました。(焼き出し時)
 
シーケンスコントロール(タッチパネル)を採用。操作が容易になりました。
 

 

アウトガスはPAT(内容積10mL、テナックスGR吸着剤入り)による捕集が標準です。オプションで各メーカの捕集管にも対応します。
 
過昇温防止装置、ドアインターロック機構、緊急停止スイッチ、漏水センサー(オプション)などの安全対策がなされております。
 
オプションで多段昇温捕集、スプリット捕集、試料管電子冷却(捕集時)が可能です。
 

 
韓国半導体市場を独占するシリコンウエハのアウトガス捕集装置
 
特長
シリコンウエハの8インチ及び6インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます。(SW-8400IIIDF)
 
シリコンウエハの12インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます。
(SW-12400IIIDF)
 
捕集管トラップ方式採用のため、デッドボリュームがなく、微量成分検出が可能です。
 
確実に表面からのみの発生ガスを捕集し、裏面からの発生ガスは真空ポンプにより全量放出します。
 
ウエハをダイレクトに加熱、最高温度は500℃を実現しました。(焼き出し時)
 
シーケンスコントロール(タッチパネル)を採用。操作が容易になりました。
 
アウトガスはPAT(内容積10mL、テナックスGR吸着剤入り)による捕集が標準です。オプションで各メーカの捕集管にも対応します。
 
過昇温防止装置、ドアインターロック機構、緊急停止スイッチ、漏水センサー(オプション)などの安全対策がなされております。
 
オプションで多段昇温捕集、スプリット捕集、試料管電子冷却(捕集時)が可能です。
 

-オーブン-

 
シリコンウエハ(SW)の表面を天板で覆い、表面からのアウトガスだけを捕集する方法です。
パージガスは、プレヒートラインを経由した後、オーブンの天上に釣鐘状に固定された天板(釣鐘形天板)の外壁に沿って流れ、SW表面を外周から中心に向かって導かれます。
SWの裏面は真空ポンプにより吸引することで、SWの裏面で発生したガスを確実に排出することができます。

-オーブン-

シリコンウエハ(SW)の表面を天板で覆い、表面からのアウトガスだけを捕集する方法です。
パージガスは、プレヒートラインを経由した後、オーブンの天上に釣鐘状に固定された天板(釣鐘形天板)の外壁に沿って流れ、SW表面を外周から中心に向かって導かれます。
SWの裏面は真空ポンプにより吸引することで、SWの裏面で発生したガスを確実に排出することができます。

装置仕様

装置仕様

 SW-8400ⅢDF
 方式   釣鐘方式
 捕集可能なウエハサイズ   8"及び6"、5"以下は治具が必要(12400Ⅲは12")
 オーブン材質   ステンレス製(SUS316L)
 オーブン加熱方式   天板・底板独立加熱方式
 オーブン使用温度   常用400°C(最高焼き出し温度500°C)
 オーブン冷却   冷却水循環装置
 保温パイプ   内面不活性処理
 パージガス   通常は窒素、最大使用流量500mL/min
 PAT冷却(オプション)
  電子冷却
 緊急停止スイッチ   赤色、きのこ型
 安全装置   ドアインターロック機構
 オーブン開閉   モーター駆動
 本体寸法   1140(W)×1106(H)×750(D)mm
 電源   単相AC200V、20A ・ AC200V、30A
 質量   280Kg


 

 SW-8400ⅢDF
 方式  釣鐘方式
 捕集可能なウエハサイズ  8"及び6"、5"以下は治具が必要
(12400Ⅲは12")
 オーブン材質  ステンレス製
(SUS316L)
 オーブン加熱方式  天板・底板独立加熱方式
 オーブン使用温度  常用400°C
(最高焼き出し温度500°C)
 オーブン冷却  冷却水循環装置
 保温パイプ  内面不活性処理
 パージガス  通常は窒素、最大使用流量500mL/min
 PAT冷却  電子冷却
 緊急停止スイッチ  赤色、きのこ型
 安全装置  ドアインターロック機構
 オーブン開閉  モーター駆動
 本体寸法  1140(W)×1106(H)×750(D)mm
 電源  単相AC200V、20A ・ AC200V、30A
 質量  280Kg

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